Lösungen

Auswahl unserer bisherigen Leistungen

Auf dieser Seite möchten wir Ihnen eine kleine Auswahl unseres Leistungsspektrums und der bisher realisierten Lösungen vorstellen.

Manuelles Waferhandling


Kundenspezifischer Wafergreifer für die Handhabung dünner 200mm-Substrate

  • mit großen Greifbacken für geringe Substratbelastung
  • Schließposition einstellbar
  • aus PEEK für überragende mechanische Stabilität und chemische Beständigkeit
  • mit Führungsbeinen für das exakte Absetzen auf einer passenden Basisstation

Dieser Wafer-Greifer ermöglicht die manuelle Prozessierung von großen und besonders dünnen und empfindlichen Substraten (Z.b. Glas- oder Siliziumwafer). Die Wafer lassen sich damit ohne den Einsatz einer Pinzette aus der passenden Ablagestation heben und zusammen mit dem Greifer in eine Glasschale für die nasschemische Prozessierung stellen bzw. hängen (z.B. Ätzen oder Entwickeln eines Lithografielackes). Durch die extrem geringe mechanische Belastung des Substrats werden damit Experimental- und Entwicklungsprozesse auch mit ansonsten schwierig zu handhabenden Wafern möglich, ohne die Gefahr einer Beschädigung durch herkömmliche Pinzetten einzugehen. Das Substrat verbleibt während des gesamten Prozesses (z.B. Ätzen - Spülen - Trocken) im Greifer und die Fehlerrate durch manuelles Handling sinkt enorm. Die Greifer können ganz nach Wunsch angepasst werden (Wafergröße von 100mm bis 300m bzw. 4" bis 12";  Material der Greifbacken z.B. PEEK oder PTFE bzw. Teflon).


Einfacher 100mm Wafergreifer mit 3 verschiedenen Klemmpositionen

  • Öffnungsweite, Schließposition und Klemmkraft einstellbar
  • aus PEEK für überragende mechanische Stabilität und chemische Beständigkeit
  • einfaches Handling durch einen beweglichen Arm und Betätigung am Griff

Haltevorrichtung für quadratische 5" Lithografiemasken

  • mit einer Hand abnehmbarer Griff und flaches Design
  • vollständig aus PEEK für überragende mechanische Stabilität und chemische Beständigkeit auch bei komplettem Eintauchen
  • die Lithografiemaske kann zusammen mit dem Halter verschiedene Reinigungsbäder durchlaufen

Adapter und Vorrichtungen


Aufbewahrungskiste für Reticle-Boxen

  • kundenspezifische Aufbewahrungskiste für 4 Stepper-Masken-Boxen (Reticle-Box)
  • staubdichte, durchsichtige Tür aus elektrostatisch ableitfähigem PMMA
  • Korpus aus leitfähigem POM gegen elektrostatische Aufladungen

Probenhalter nach Maß

  • maßgeschneiderter Halter für eine bestimmte Chipgröße
  • minimaler Kontakt der empfindlichen Chipoberfläche mit dem Halter
  • aus PP für überragende chemische Beständigkeit
  • mit passendem Deckel und fluidisch optimiertem Design für eine effiziente nasschemische Prozessierung

Diverse Halter und Adapter

  • Ersatz- und Sonderlösungen aus Kunststoff und Metall
  • Anpassung von vorhandenem Equipment
  • probenspezifische Halter, Klemmvorrichtungen und Adapter jeder Art

Unsere Bearbeitungsmöglichkeiten


Folgende Dienstleistungen können wir anbieten

  • 3D Design und Konstruktion
  • Bearbeitung von technischen Kunststoffen, Aluminium und Stahl (eingeschränkt)
  • konventionelles Fräsen
  • CNC Fräsen
  • konventionelles Drehen
  • Gravieren